Electron Beam Lithography (EBL) Tool

Om upphandlingen.

Lund University, Department of Physics, Lund Nano Lab is acquiring an Electron Beam Lithography Tool. The instrument is intended for high resolution, repeatable patterning, equipped with a large writing field for high throughput patterning, and automated self-calibration routines to support long exposures with minimal errors due to beam drift. Finally, its flexible sample loading system must be configured for a wide range of samples from small pieces used for basic science, or wafers up to 8" in diameter for pilot production testing. With these properties, the Electron Beam Lithography Tool will become a central part of the Lund Nano Lab fabrication infrastructure and support a range of applications such as quantum devices, high-power electronics, metasurfaces and more. In addition to the instrument, the tender must include all associated costs such as warranty, packaging, insurance, on-site installation, commissioning, FAT, SAT, duty and transportation, training, documentation, support, development/software updates, charges under the Ordinance on Producer Responsibility for Packaging (2022:1274) etc.

Köpare

Lunds universitet

Ort och län

Lund, Skåne län

Område

Laboratorie- och precisionsutrustning

CPV-kod

38000000

Typ av kontrakt

Varor

Publicerad i TED

7 oktober 2026

TED-nummer

690718-2026

Avtalet och utvärderingen.

Det här anger annonsen. Kraven, villkoren och utvärderingsmodellen i sin helhet står i upphandlingsdokumenten.

Avtalsperiod

1 december 2026 till 15 mars 2028

Utvärdering

Lägsta pris

Vikterna och kriterierna står i upphandlingsdokumenten.

BidBrief går igenom underlaget och listar alla ska-krav med sidhänvisning, utvärderingsmodellen, det som ska lämnas in och riskerna i avtalet. Analysera underlaget

Underlaget.

Förfrågningsunderlaget hämtar du i köparens upphandlingsverktyg. Där ställer du också frågor och lämnar anbudet. Ladda sedan upp dokumenten hos BidBrief, så får du kraven, utvärderingsmodellen och en bedömning av om upphandlingen passar er inom 24 timmar.